恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設(shè)計的高性能氣體過濾設(shè)備。該過濾器采用全316L不銹鋼構(gòu)造，堅固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機械密封技術(shù)，確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達0.003μm，能夠?qū)崿F(xiàn)9-LRV清潔度，有效保障氣體的超高純度。此外，該過濾器支持高達100slpm的大流量，助力設(shè)備升級無憂，適用于多種半導(dǎo)體工藝氣體，確保系統(tǒng)的高效運行。

產(chǎn)品特點

●  整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

●  小型化設(shè)計、結(jié)構(gòu)緊湊、不占用空間優(yōu)異的氣體置換和解吸特性

●  耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

●  電解拋光316L不銹鋼外殼

●  安裝與檢修便捷高效

●   采用機械密封、結(jié)構(gòu)上與介質(zhì)無焊接

應(yīng)用領(lǐng)域

●  半導(dǎo)體制造

在半導(dǎo)體制造中，氣體的純凈度直接影響芯片的質(zhì)量和性能。SF系列IGS面板專用過濾器能夠有效去除氣體中的雜質(zhì)，確保氣體的高純度，從而提高芯片的良品率和生產(chǎn)效率。

●  集成氣體輸送與控制系統(tǒng)

該過濾器兼容C型和W型多種密封規(guī)格，能夠無縫集成到現(xiàn)有的氣體輸送與控制系統(tǒng)中，實現(xiàn)高效的氣體凈化和輸送。

●  設(shè)備升級與模塊化設(shè)計

采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計升級。其緊湊的體型和便捷的安裝維護特性，使其成為設(shè)備升級的理想選擇。

在半導(dǎo)體行業(yè)中，SF 系列 IGS 面板應(yīng)用過濾器主要有以下原因：

●  確保氣體純度：半導(dǎo)體制造工藝對氣體純度要求極高。例如，在芯片制造的光刻環(huán)節(jié)，哪怕極其微小的顆粒雜質(zhì)，都可能導(dǎo)致光刻圖案出現(xiàn)偏差，影響芯片的精度和性能。過濾器能夠?qū)崿F(xiàn) 0.003μm 級的高效顆粒過濾，保障 9 - LRV 清潔度，將氣體中的塵埃、金屬離子等雜質(zhì)有效攔截，為半導(dǎo)體工藝提供近乎純凈的氣體，滿足生產(chǎn)高質(zhì)量、高性能芯片的嚴苛要求。

●  保護設(shè)備：半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備通常非常精密且昂貴。如果氣體中含有雜質(zhì)，可能會對設(shè)備的內(nèi)部部件，如氣體輸送管道、閥門、反應(yīng)腔等造成磨損、腐蝕或堵塞，縮短設(shè)備的使用壽命，增加維修成本。過濾器可以將氣體中的雜質(zhì)過濾掉，減少雜質(zhì)對設(shè)備的損害，延長設(shè)備的正常運行時間，降低設(shè)備維護頻率和成本，提高生產(chǎn)的連續(xù)性和穩(wěn)定性。

●  提升工藝穩(wěn)定性：穩(wěn)定的工藝條件是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵。氣體中的雜質(zhì)可能會引發(fā)化學(xué)反應(yīng)異常，導(dǎo)致工藝參數(shù)波動，影響產(chǎn)品的一致性和良品率。通過使用過濾器，可以有效去除雜質(zhì)，使氣體成分穩(wěn)定，從而確保工藝過程的穩(wěn)定性，提高產(chǎn)品的一致性和良品率，降低生產(chǎn)成本。