TF系列工藝氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì),精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便,僅需氣路對接與螺母緊固,避免焊接風(fēng)險(xiǎn),確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現(xiàn)卓越微粒過濾效率,...
TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率...
直線過濾器采用316L不銹鋼材質(zhì),線型結(jié)構(gòu)緊湊,用于空間受限的環(huán)境下過濾氣體或液體中的微固體,以保護(hù)下游流體設(shè)備。最高工作壓力可達(dá)207bar;最高工作溫度204℃;多種過濾精度:2-5微米,5-10微米,20-40微米。廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室、...
RF系列多孔金屬限流器RF系列多孔金屬限流器,通過與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合,安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中,以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障,引起的意外高氣體流量。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中,用于保護(hù)氣體流量穩(wěn)定可靠...
SF系列IGS面板專用過濾器,用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實(shí)現(xiàn)0.003um級高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量,適助力設(shè)備升級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造,堅(jiān)固耐用,緊湊...
OF系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計(jì),過濾精度高達(dá)0.003um。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...
KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng),特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下,可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...
0F系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計(jì),過濾精度高達(dá)0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...
BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì),采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損,過濾精度高達(dá)0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
HF系列高壓氣體專用過濾器,用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合,兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命,能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及...
VCR(Vacuum Coupling Retainer)過濾墊片氣體管路密封限流接頭是一種用于氣體管路連接的部件。它主要起到密封、過濾和限流的作用。
半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,需要輸送大量的高純氣體,如氫氣、氮?dú)獾?。VCR 過濾墊片氣體管路密封限流接頭可以確保氣體的純度,防止雜質(zhì)進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備,同時精確控制氣體流量,保證芯片制造過程的穩(wěn)定性和可靠性。